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静岡大学工学部電子物質科学科
久保野研究室
Equipment
久保野研究室にある装置の一部を紹介します
ラビングマシーン
手作りのラビングマシーン。装置の精度および実験者の精度が問われます。
透過光強度測定装置
フォトダイオードによって、液晶セルなどの透過光強度の変化を測定するための装置です。
オシロスコープ
透過光強度測定装置につなげて使います。
オゾン発生装置
紫外線を照射し、オゾンを発生させ、基板などの表面を洗浄します。
スピンコーター
基板などにスピンコートを施す時に使います。HDDを改造して作ったお手製スピンコーターもあります。
クリーンブース
入口に風のカーテンを作り、ゴミやほこりが入るのを防ぎます。 液晶のセルなどを組み立てるときはここを利用します。
偏光顕微鏡
液晶などの挙動を観察するときに用いられます。
分光光度計(UV-vis)
FT-IR
赤外吸収スペクトルを測定御します。試料室は真空に引くことが出来、水やCO2の影響を少なくできます。蒸着重合膜の膜質や配向等の評価に使っています。
ジョージ
真空蒸着装置。蒸着重合(「じょー」ちゃく「じ」ゅーごー)からこの名前がつきました。2種類のモノマーを加熱蒸発させ、チャンバー内に設置した基板上で反応させて薄膜化します。蒸発源はチャンバー内が2個、チャンバー外からの導入が3個の計5個あります。
ショージ
真空蒸着装置。ジョージより小さいことからこの名前がつきました。 主に有機薄膜の形成過程を中に設置した水晶振動子を用いて分析しています。
しずか
真空蒸着装置。その名の通り、動作音がとても静かです。隣にあるのび太で作製した基板を大気に放曝することなくしずかに運び、有機薄膜を作製します。
のび太
真空蒸着装置。しずかの隣にいることからその名がつきました。金属の蒸着が可能です。
出来杉
FT-IRを改造し、試料室に蒸着重合装置を組み込みました。蒸着膜のIRスペクトル(RAS)と膜の付着量をIn-situ測定できます。
グローブボックス
不活性ガス中で作業するときに使います。現在は液晶セル観察からQCM測定まであらゆることを行っています。 液体窒素は入れることができません。
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